Micron, EUV’ye geçiyor
Öte yandan EUV’ye geçişle birlikte DRAM yongalarının performansında ne gibi kazanımların olacağı ise henüz belli değil. Ek olarak pilot üretim programı şirketin Japonya’daki tesisinde gerçekleştiriliyor. Micron’un EUV’ye geçişi ise bir sürpriz değil. Firma zaten bir süredir ASML’nin Twinscan NXE EUV litografi makinelerini deniyor ve üretim akışlarını yeni araçlara entegre etmek için testler gerçekleştiriyordu. EUV destekli 1γ ve 1δ (1-delta) üretim teknolojilerinin ötesinde Micron, 3D DRAM mimarilerinin yanı sıra önümüzdeki yıllarda DRAM üretimi için ASML’nin en yeni High-NA EUV makinelerinin kullanımını da araştırıyor.